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Pluto-MD(8L)小型等離子去膠機-視頻在線觀看

發布時間:2023-02-28      點擊次數:1270
  去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題,將直接影響后續工藝的順利完成。PLUTO-MD小型去膠機使用性能出色的組件和軟件,可對工藝參數進行精確控制。它的工藝監測和數據采集軟件可實現嚴格的質量控制。該技術已經成功的應用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領域。
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