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等離子去膠機采用了一種非接觸式脫膠技術

更新時間:2025-04-03       點擊次數:330
  等離子去膠機是一種利用等離子體技術進行表面清洗和去膠的設備。其基本原理是通過氣體放電產生等離子體,這些高能粒子能夠解離化學鍵、改變分子結構,從而有效去除硅片、玻璃片等材料表面的污染物、有機硅油、油脂、殘留的光刻膠等雜質;通過射頻電源產生高頻電磁場,使氣體分子電離形成等離子體。這些等離子體中含有大量高能電子、離子和自由基等活性粒子,這些活性粒子能夠與材料表面的污染物發(fā)生化學反應,將其分解成小分子并去除。同時,等離子體中的高能粒子還能夠對材料表面進行物理轟擊,進一步促進污染物的去除。
 
  等離子去膠機的技術特點:
 
  非接觸式處理:等離子去膠技術是一種非接觸式脫膠技術,不接觸材料表面即可去除污染物和殘留物,避免了接觸造成的二次污染。
 
  高效清潔:等離子體中的高能粒子能夠迅速地分解有機物質,并通過揮發(fā)作用將它們從基材上移除,大大提高了工作效率。同時,適用于多種材料和工藝,包括硅片、玻璃片、金屬等。
 
  環(huán)保節(jié)能:整個過程中使用的都是惰性氣體(如氬氣)或是空氣作為原料,不會產生有害廢物,符合綠色環(huán)保要求。相較于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝,等離子去膠所需能量更少,有助于降低生產成本的同時也更加節(jié)能。
 
  操作簡便靈活:現代等離子去膠機大多配備有控制系統(tǒng),支持全自動運行模式,只需簡單設置參數即可完成復雜的去膠任務。同時,結構設計合理,關鍵部件壽命長,日常使用中幾乎不需要特別的維護工作。
 
  等離子去膠機因其優(yōu)勢,在多個領域有著廣泛的應用:
 
  半導體工業(yè):用于去除晶圓表面的光刻膠殘留,確保后續(xù)工藝的質量。
 
  光電子工業(yè):用于清洗和去膠,提高器件的性能和穩(wěn)定性。
 
  液晶顯示器行業(yè):用于去除基板表面的污染物和殘留膠層,保證顯示效果的清晰度。
 
  材料科學研究:用于去除材料表面的保護膜和污染物,便于進一步研究和應用。
等離子去膠機
  • 公司地址:上海市康橋東路1369號C棟220
  • 公司郵箱:1399511421@qq.com
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